真空变温薄膜电阻测试仪器的设计与应用

摘要

本文介绍一种自制真空变温薄膜电阻测试仪器,可以实现粗真空(0＜P＜1atm)条件下,从室温到300°C的四探针法薄膜电阻测试。适用于开展薄膜物性与电阻和温度相关的实验,例如,金属与半导体薄膜的温度—电阻特性实验,二氧化钒薄膜热滞效应实验等。