纳米多层膜塑性变形及其Hall-Petch表征

摘要

采用直流磁控溅射制备了不同调制波长的?哪Ni/Al多层膜,利用X射线衍射技术(XRD)和纳米亚痕仪对薄膜微结构及力学性能进行了系统研究。结果表明,Ni/Al多层膜呈现纳米晶结构特征；同时,随调制波长减小,多层膜的硬度与"软"相的微结构特征参量具有相似变化规律,表明多层膜的变形机制对软膜的微结构约束存在敏感性。随薄膜特征尺度的减小,通过提出一个与软膜相关的新的表征参量(Lsub/d,L表示亚层厚,d表示晶粒尺寸,下标代表亚层),对多层膜晶界强化和膜界强化两种机制进行了协调统一,使薄膜变形在整个尺度范围内较好的符合Hall-Petch关系.