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利用Ba0.65Ru0.35TiO3缓冲层制备高热释电系数的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜

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采用射频溅射,在Ba0.65Sr0.35TiO3(BST)薄膜和Pt/Ti/SiO2/Si衬底之间制备10nm的Ba0.65Ru0.35RuO3(BSR)缓冲层,研究了BSR缓冲层对BST薄膜结构和性能的影响.与没有BSR缓冲层的BST薄膜相比,BSR缓冲层可使BST薄膜呈高度a轴择优取向生长,改善了薄膜的介电常数,降低了薄膜的漏电流密度,使其热释电系数达到7.45×107Ccm-2K-1.表明利用BSR缓冲层可以制备高热释电性能的BST薄膜。

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来源
《二〇〇六年全国光电技术学术交流会》|2006年|733-737|共5页
会议地点成都
作者
刘祚麟; 吴传贵; 张万里; 刘兴钊; 李言荣;
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作者单位

中国宇航学会;

中国航空学会;

中国光学学会;

中国兵工学会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类铁电及压电器件;
关键词
钛酸锶钡薄膜; 热释电性能; 缓冲层; 铁电介电辐射计; 射频溅射;

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