单晶硅线切割技术及切削液的分析研究

摘要

本文对单晶硅衬底材料加工中的线切割工艺技术及切割液进行了讨论,分析了线切割工艺技术相对于传统的内径切割工艺的优点以及线切割引入的问题,从理论上给出了解决方案,通过引入化学作用缓解机械作用,改善切割液悬浮性并保持硅片表面物理吸附状态来获得较好的工艺效果,达到降低应力,易清洗.