提高微型气体传感器可靠性的有效方法-解决氧化锡敏感膜龟裂问题

摘要

本文介绍了一种解决氧化锡气体敏感膜龟裂问题的有效方法。文章用两种方法解决了这个问题：一是用磷硅玻璃(PSG)回流对氧化锡衬底的粗糙表面进行平坦化处理；二是把氧化锡薄膜图形设计成许多细长条状,以释放高温引起的应力变化。本技术也适用于其它薄膜产生的微裂问题。