Cz法砷化镓单晶生长熔体流动状态转换

摘要

本文采用三维时相关紊流模型对Cz法砷化镓单晶生长中熔体流动和传热进行了数值模拟.随着晶体旋转速度的增大熔体由轴对称不稳定流动转换为非轴对称的不稳定流动,继续增加晶体转速,熔体流动又转变为另一种轴对称不稳定流动.分析了流动状态转变的原因,得出了流动状态发生转变的临界参数。