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Al<,2>O<,3>或TiO<,2>掺杂的SeSZ固体电解质纳米晶薄膜的制备及表征

摘要

两种薄膜均在650°C以上开始晶化,温度越高,晶化越完全,在800°C可完全晶化;所得纳米晶颗粒呈纯的萤石结构立方相;铝和钛掺杂的纳米晶颗粒的平均大小分别为47和51nm.铝掺杂的薄膜非常均匀致密,而钛掺杂的薄膜存在少量向微气孔.

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