微波电真空器件的电子枪预处理工艺与装置

摘要

微波真空电子器件广泛应用于雷达、卫星通信、电子加速器及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,担当电子发射的阴极是微波真空电子器件中最为核心的部分,微波真空电子器件中电子枪的绝缘性能一般与电子枪的结构、阴极蒸发水平、及阴极预处理等工艺有关.当电子枪的结构、阴极蒸发水平一定的条件下,影响电子枪绝缘性能的主要因素是电子枪预处理工艺.本文总结了热阴极的蒸发规律;研究了用于微波真空电子器件的电子枪预处理方法.采用在高真空环境下,将电子枪中阴极灯丝缓慢加热,当阴极温度升高到1100℃-1200℃时,保持1-200小时(温度和时间依不同微波管型而定).这一工艺的建立,解决了电子枪中热阴极发射与蒸发矛盾,现在己建立数十台几十个工位的电子枪预处理设备.本工艺提高了微波真空电子器件中电子枪的绝缘性能、减小了漏电、减小了栅发射.同时通过电子枪的预处理工艺可以加速检验热子的可靠性从而避免微波器件使用过程中才发现热子短路、热子缺陷、热子焊接点不牢等因素造成热子断路的问题,提高了微波真空电子器件中热子的可靠性.