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蒋科; 孙晓娟; 贲建伟; 贾玉萍; 陈一仁; 李志明; 刘贺男; 宋航; 黎大兵;
中国电子学会;
中国有色金属学会;
半导体材料; 氮化铝镓; 氮化铝模板; 蓝宝石模板; 金属有机化学气相沉积; 类同质外延;
机译:高温化学气相沉积法研究AlN在高温下的外延生长及相关刻蚀现象
机译:AlN成核层的生长温度对高温MOCVD法生长AlN模板的影响
机译:MOCVD法在湿法刻蚀的GaN模板上外延生长AlN微壁
机译:高温MOCVD外延生长AlN的3D CFD模拟
机译:用于开发AlN / SiC {lcub} p / pn {rcub}异质结紫外检测器的MOCVD优化和AlN表征。
机译:生长过程中的气相化学反应机理高温MOCVD中AlN的热力学研究
机译:基于高温无线传感器应用的ALN / SAPPHIRE结构的高Q SAW谐振器的设计与鉴定
机译:分子束外延生长mg掺杂GaN同质外延层的光学和磁共振研究。
机译:基于AlN的III族氮化物厚膜的气相相差法和MOCVD装置
机译:金属有机化学气相沉积法,高质量N面GaN,InN和AlN及其合金的异质外延生长方法
机译:ALN材料单晶膜外延生长的ALN材料和底物的单晶膜的制造方法
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