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β-C<,3>N<,4>晶体薄膜的表面增强喇曼研究

摘要

用热丝化学气相沉积(HF-CVD)方法成功地合成了β-C〈,4〉N〈,4〉晶态膜,通过SEM观察到β-C〈,4〉N〈,4〉的晶体形貌,通过XRD测定其晶格常数a=6.24A°,c=2.36A°,与理论预测值相近,利用EDX测定其化学成份,用表面增强喇曼获得了β-C〈,4〉N〈,4〉的喇曼振动频率峰位,并与理论预测值进行了比较。

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