硅液相外延生长的晶向自动偏离现象

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• 来源
  《第五届全国固体薄膜学术会议》|1996年|171-173|共3页
• 会议地点 浙江奉化
• 作者

  江鉴;

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• 作者单位

  中国电子学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 TN304.12;
• 关键词

  硅;

• 入库时间 2022-08-17 10:44:45