弗里曼源热阴极弧放电高温下应用中的几个问题

摘要

该文介绍弗里曼源典型气体流量下弧室内，引出区域和监控处的真空度间的关系，热灯丝热和弧放电热引起的弧室内壁、料炉末端的温升分布特性、源的循环冷却水路的导热性能对高温弧室屏蔽罩的辐射热传导冷却程度引起的有机绝缘环出气，影响源的长时间稳定出束问题及其微渗水蒸汽使高温灯丝氧化对放电特性的影响。