用于全方位离子注入与沉积的固体脉冲调制器

摘要

采用八只IXLF19N250A IGBT串联成功了用于全方位离子注入与沉积的10kV固体脉冲调制器.假负载试验表明:该固体脉冲调制器的最高输出电压为14kV、最高输出脉冲电流为20A、输出脉冲宽度可在2us和112us之间以1us步长变化、脉冲重复频率范围为1Hz~4kHz,短时间可以工作到8.6kHz,上升时间约为300ns;但在等离子体负载上使用时,由于输出电缆电容和输出线电感影响,上升时间和下降时间都不理想.