火焰合成纳米TiO2薄膜氧感应特性的实验研究

摘要

在不同工作温度和氧气浓度下实验测得采用火焰合成方法制备得到TiO2气敏薄膜传感器的氧感应特性,结果显示纳米薄膜的感应基线电阻稳定,氧响应速率快,氧表面化学吸附速率显著高于化学脱附速率;传感器灵敏度S与氧浓度C之间线性度较好,可以满足实际氧传感器的使用要求,灵敏度受工作温度影响较大,随温度升高传感器灵敏度先增加后减小,最佳工作温度为550℃。