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大孔硅(Macroporous Silicon)制作三维光子晶体

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三维光子晶体可以实现光的全禁带,已成为光子晶体制作的热点.N-Si(aqu/bsi)制作大孔硅,控制光电流,使孔径在轴向方向发生改变,制作出光通信频段的三维光子晶体.本文着重于制作三维光子晶体的理论分析和实验设计.

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来源
《第十届全国光电技术与系统学术会议》|2003年|266-269|共4页
会议地点长沙
作者
徐奇;
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作者单位

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类晶体物理;
关键词
光子晶体; 电化学腐蚀法; 大孔硅;
入库时间 2022-08-17 11:08:20

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