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多层GaAlInP半导体单晶结构的X射线双晶衍射分析

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摘要

应用双晶衍射仪对外延生长所得到的一个GaAlInP双异质结构(DH)的单晶薄层结构进行测试与分析.应用双晶衍射的动力学理论模拟此样品的摇摆曲线,并结合崎变与散射来解释测试结果.比较肯定的确定了此样品的结构与晶体质量.并对晶体制备的改进提供技术方案.

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来源
《第十届全国光电技术与系统学术会议》|2003年|294-301|共8页
会议地点长沙
作者
王浩; 范广涵; 廖长俊;
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作者单位

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体晶体物理;
关键词
双晶衍射; GaAlInP; GaAlInP半导体; 晶体结构;
入库时间 2022-08-17 11:08:20

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