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一种半导体材料薄层电阻变温特性自动测试系统

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摘要

针对半导体薄层电阻温度特性的研究,我们自行设计了一套自动化测试系统.本文阐述该系统基本测试原理,硬件结构、软件流程.这套系统成功地应用于氧化钒薄膜的电阻温度特性研究,得到了较好的实验结果.

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来源
《第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会》|2003年|465-468|共4页
会议地点深圳
作者
黄巍; 茹国平; 李炳宗;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测量和检验;
关键词
半导体材料; 薄层电阻; 变温特性; 自动化测试系统; 电阻温度特性;

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