短波/中波HgCdTe红外双色探测器

摘要

首次报道了短波/中波(SW/MW)的HgCdTe红外双色探测器的材料生长、器件制备及其性能.由采用分子束外延(MBE)和原位掺杂技术生长的p-p-P-N型Hg<,1-x>Cd<,x>Te多层异质结材料.通过B<'+>注入、台面腐蚀、爬坡金属化及互连等工艺,得到了80元的原理型HgCdTe红外双色探测器.纵向上背靠背的两个光二极管分别有电极输出,确保了空间上同步和时间上同时的探测,并能独立地选择最佳工作偏压.它适于常规的背入射工作方式,且有大的空间填充因子.在液氮温度下,两个波段的光二极管截止波长分别为3.04μm和5.74μm.测得SW、MW的峰值探测率分别为1.57×10<'11>cmHz<'1/2>/W和5.63×10<'10>cmHz<'1/2>/W.得到了两个波段的光谱响应,且MW光二极管的光滑串音为0.46﹪,SW光二极管的光谱串音为6.34﹪.