微机械几何模型到工艺层模型的转化方法

摘要

近年来，微机械技术发展迅速，其作用也越来越大。但微机械的设计和制造还存在不少问题。问题之一是需要设计人员直接进行工艺和版图设计，混合了功能设计和工艺设计，造成微机械设计难度大。本文提出了一种微机械几何模型到工艺层模型的自动转化方法，其目的在于分离微机械的几何设计和工艺设计，使设计人员能够更集中于功能设计，以提高微机械的设计效率和质量。该方法针对MUMPS工艺定义了微机械的工艺特征，通过对几何模型所含工艺特征进行识别，将几何模型转化为带工艺特征信息的几何模型，进而构造生成工艺层模型，最后利用工艺层模型和工艺过程直接反算出版图。