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硅晶格缺陷的透射电镜(TEM)分析

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摘要

硅的晶格缺陷与硅材料的性能密切相关.在提高硅材料的质量的实践中,人们不断积累了大量关于硅晶格缺陷的理论知识与实践经验.硅晶格缺陷的具体结构是原子尺度的.开展硅晶格缺陷的分析与研究,首先碰到的是显微技术.本文介绍了硅中各种类型的晶格缺陷,介绍了透射电镜分析技术在这个领域应用中的特色与局限.

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来源
《上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会》|2004年|47-50|共4页
会议地点上海
作者
陈一; 朱烨; 王宏培; 胡岗;
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作者单位

中国有色金属学会;

中国金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.07;
关键词
硅材料; 晶格缺陷; 透射电镜;

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