反应磁控溅射离子镀设备中的关键组件和新技术进展

摘要

本文结合五金钟表和个人电子用品行业的市场要求,对反应磁控溅射离子镀膜设备中的磁控溅射靶、磁控溅射电源、脉冲偏压电源、离子源及测控装置等关键组件的参数和特性进行详细介绍,对镀膜设备整体设计进行分析,并就其在五金(含塑胶)、手表眼镜等行业的应用效果进行逐项说明.对真空镀膜行业的设备选型和工艺开发提供一定参考.