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利用极化子荧光的断层扫描对光波导及光集成元件特征研究

摘要

钛扩散铌酸锂光波导是集成光学中应用最广泛的波导之一.在波导制造的热扩散过程中,可能破坏波导物质表面的还原程度均匀性,需要进行控制.本的研究表明,利用非损伤性的极化子荧光谱,对加工过程热处理进行检控是非常有效的.

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