电子束液态曝光技术研究

摘要

了可用于微机电系统加工的细电子束液态曝光技术.对该工艺的曝光方式、真空度需求、抗蚀剂选择以及能量和剂量需求等问题进行了研究.在此基础上,采用SDS-Ⅱ型曝光机在5×10-3Pa的系统真空度、25kV加速电压、3μC/cm2曝光剂量的条件下,成功地固化了3μm厚的环氧618液体,给出了固化图片.