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顶送顶回1000级大面积洁净室气流数值分析

摘要

根据已建成的4000平方米1000级洁净室,对采用顶送顶回加侧下回的气流组织形式进行流场数值模拟,分析洁净室内气流分布规律和粒子运动轨迹,从理论上揭示大面积洁净室采用顶送顶回加侧下回气流组织形式的特征和可行性.同时讨论了不同送风口间距、不同送风速度对流场的影响,为同类洁净室的设计提供参考.

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