氧分压对ZnO薄膜的结构、光学特性的影响

摘要

本文研究了在不同O2分压下用螺旋波等离子体辅助射频溅射法在蓝宝石衬底的(0001)面上制备ZnO薄膜。通过对其结构，光学及电学性质的分析，探讨了氧分压对薄膜生长及其特性的影响。实验结果表明，由于等离子体对反应气体的活化及载能粒子对表面反应的辅助作用，采用该等离子体辅助溅射技术能够在合适的氧分压下可以制得较高质量的ZnO 薄膜。