双面柔性神经微电极制作方法的研究

摘要

为了减小植入损伤，提高神经微电极刺激或记录的空间密度，本文提出了一种基于聚合物基质材料的植入式双面柔性神经微电极的制作工艺和方法。该方法采用光敏型聚酰亚胺(Durimide 7510)作为微电极的基底材料，并通过一种基于应力集中的凹槽结构设计和电化学释放方法结合局部键合工艺实现了双面电极的制作。微电极的SEM和电学性能测试结果表明，微电极的结构形貌和电学性能满足植入式电极的要求。