油冷却潘宁离子源引固态离子的研究与应用

摘要

一. 引言 油冷却潘宁源能电离引出气态物质离子[1]，通过改进还能电离引出固态物质元素的离子，到 目前为止，我们引出的固态物质熔点从156 ℃的铟到3000 ℃的钽都能引出所需的离子。束流达 到靶上的强度从1μA 左右到几十个μA。并在LC-4 型高能离子注入机上成功地进行了离子注入。 从八十年代末到现在我们已成功地利用LC-4 型高能离子注入机（长沙48 研究所研制）注入了 Al+、Ag+、Au+、Be+、Cr+、Ga+、Cu+、Ge+、Ca+、Co+、Dy+ 、Eu+、Er+、Fe+、Gd+、Ge+、 In+、La+、Li+、Mg+、Mo+、Mn+、Nb+、Nd+、Pr+、Pt+、Pd+、Pb+、Rn+、Se+、Sb+、Sm+、Sn+、 Sr+、Te+、Ti+、Tb+、Ta+、Tm+、V+、W+、Y+、Yb+、Zr+、Zn+等固态元素的离子。为国内的中科 院半导体研究所在硅基发光的研究注入了Er+、Yb+、Al+、Pr+等稀土和金属离子，为磁性半导体 的研究注入了Mn+等离子；为石家庄13 所做了Se+、Al+等惨杂注入；为昆明物理所红外探测器的 研究注入了Be+、Se+；为武汉大学注入了Au+、Ag+、Zn+、Fe+、Mn+等多种离子的注入，还为北 工大、中科院微电子所、北大等多个单位注入了多种固态稀土和金属离子，都取得了很好的结果。