场发射扫描电镜中的新型信号探测系统-CDS系统

摘要

@@E-T( Everhart-Thomley)探测器的发明，奠定了扫描电镜(SEM)信号探测的基础，从而使扫描电镜得到了迅速发展，成为在各个领域都广泛应用的物理测试仪器。随着人们探索微观世界的深入，人们对扫描电镜提出了更高的要求：如何真正地显示样品表面的细节，如何完美地区分二次电子和背散射电子，如何提高图像的高分辨率达到纳米级别。为了解决这些问题，人们作了很多努力。例如：降低加速电压，减少入射电子束在样品中的穿透深度，以获得样品表面的细节；设计各种Inlen探测器，以最有效地接收二次电子和背散射电子。