惯性环境下的MEMS电容式谐振器偏移量分析

摘要

介绍了MEMS电容式谐振器及其工作原理，研究了运动状态下谐振器振子的偏移量情况，通过ANSYS软件对三种常用结构的MEMS电容式谐振器进行了偏移量的仿真，探讨了运动状态下三种谐振器尺寸与其振子偏移量之间的关系，得出了双端固支梁式与方形角支撑式谐振器在运动状态下振子的偏移量较小，对谐振器性能影响几乎可以忽略不计，而圆形Wine-Glass式谐振器在运动状态下振子的偏移量较大，可达磁盘与电极的间距的10％，对谐振器性能影响不容忽视的结论。为优化MEMS电容式谐振器的设计和提高谐振器的性能提供了参考。