• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外国专利> APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING MICRO- AND/OR NANO-STRUCTURES

APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING MICRO- AND/OR NANO-STRUCTURES

机译：用于生产微型和/或纳米结构的装置和方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献

摘要

An apparatus and a method for producing micro- and/or nano-structures.
机译：一种用于制造微型和/或纳米结构的装置和方法。

著录项

  • 公开/公告号WO2022008033A1

    专利类型

  • 公开/公告日2022-01-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 EV GROUP E. THALLNER GMBH;

    申请/专利号WO2020EP68998

  • 发明设计人 DUDUS ANNA;TREIBLMAYR DOMINIK;

    申请日2020-07-06

  • 分类号G03F7;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-24 23:22:28

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号