公开/公告号DE4319089A1
专利类型
公开/公告日1994-12-15
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS AG 80333 MUENCHEN DE;
申请/专利号DE19934319089
发明设计人 SEIDEL UWE 8000 MUENCHEN DE;BRAUN RAINER 8000 MUENCHEN DE;KOERNER HEINRICH DIPL.-CHEM. DR. 8206 BRUCKMUEHL DE;
申请日1993-06-08
分类号H01L21/90;H01L23/522;H01L21/467;C23F4/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 04:09:19