公开/公告号DE50011754D1
专利类型
公开/公告日2006-01-05
原文格式PDF
申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES SC300 GMBH & CO. KG;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;
申请/专利号DE20005011754T
申请日2000-03-31
分类号G01B11/24;G01B11/30;G01N21;G01N21/47;G01N21/956;H01L21/66;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 21:19:35