公开/公告号WO2005020334A9
专利类型
公开/公告日2007-03-08
原文格式PDF
申请/专利权人 MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY;DANIELSON DAVID T.;GRAHAM JEREMY;WADA KAZUMI;MONTALBO TRISHA M.;KIMERLING LIONEL C.;
申请/专利号WO2004US27204
申请日2004-08-20
分类号H01L31/068;H01L31;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 20:52:35