公开/公告号WO2020190878A1
专利类型
公开/公告日2020-09-24
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号WO2020US22994
发明设计人 HENRI JON;ZHENG HUIFENG;COLINJIVADI KARTHIK S.;ROBERTS FRANCIS SLOAN;REDDY KAPU SIRISH;TAN SAMANTHA SIAMHWA;LEE SHIH-KED;HUDSON ERIC;SCHROEDER TODD;YANG JIALING;
申请日2020-03-16
分类号H01L21/3065;H01L21/02;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/67;C23C16/26;C23C16/04;C23C16/50;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:09:19