公开/公告号CN111244016B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.10.18
原文格式PDF
申请/专利权人 深超光电(深圳)有限公司;
申请/专利号CN202010160027.2
申请日2020.03.10
分类号H01L21/683;H01L27/15;
代理机构深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司;
代理人张小丽
地址 518109 广东省深圳市宝安区龙华街道办民清路深超光电科技园A栋
入库时间 2022-11-28 17:51:11
机译: 组件转移装置,带有组件转移装置的组件安装装置,带有组件转移装置的组件检查装置以及组件转移装置的异常检测方法
机译: 一种制备电荷转移装置的方法,并由该方法制备电荷转移装置
机译: 转移装置室以及转移方法和使用该转移装置室的转移装置