反转图案形成组合物、反转图案的形成方法以及器件的形成方法

摘要

[课题]本发明提供一种组合物，其为使用了对抗蚀图案造成的影响少的水系溶剂的反转图案形成组合物，并且涂布后的平整性和填充性良好，蚀刻耐受性优异。进一步提供一种使用了其的图案的形成方法。[解决手段]一种反转图案形成组合物、以及使用了其的微细图案形成方法，所述反转图案形成组合物包含：包含具有含氮基团的重复单元的聚硅氧烷化合物、以及包含水的溶剂。