激光加工头、激光加工装置以及激光加工头的调整方法

摘要

激光加工头具备：激光照射部；准直光学系统，其用于准直来自所述激光照射部的激光；以及聚光光学系统，其用于将通过了所述准直光学系统的激光聚光，包括所述准直光学系统以及所述聚光光学系统的光学系统构成为通过了所述聚光光学系统的激光可产生彗形像差，所述激光加工头还具备：第一移动部，其用于在与所述激光照射部或者所述准直光学系统的中心轴正交的第一方向上使所述激光照射部或者所述准直光学系统的至少一方移动，以使得所述准直光学系统相对于所述激光照射部的相对位置发生变化；以及第二移动部，其用于在与所述聚光光学系统的中心轴正交的第二方向上使所述聚光光学系统移动，以使得所述聚光光学系统相对于所述准直光学系统的相对位置发生变化。