扫描电镜的样品平台及扫描电镜

摘要

本实用新型公开了一种扫描电镜的样品平台及扫描电镜，样品平台包括：基座；旋转驱动组件，旋转驱动组件包括：蜗轮，蜗轮可枢转地设在基座上；蜗杆座，蜗杆座设在基座上；蜗杆，蜗杆设在蜗杆座上且啮合蜗轮以驱使蜗轮转动；驱动件，驱动件连接蜗杆以驱使蜗杆转动；样品承载台，样品承载台用于沿周向放置多个样品，样品承载台连接蜗轮以在蜗轮的带动下旋转。本实用新型通过蜗轮、蜗杆、蜗杆座及驱动件的配合使样品承载台旋转，从而使不同的样品移动到电子束下进行观测，提高空间利用率，同时蜗轮、蜗杆及蜗杆座的配合使整体结构强度高，从而提高了负载能力。