一种晶圆缺陷诊断方法和诊断装置

摘要

本申请提供了一种晶圆缺陷诊断方法和诊断装置。该晶圆缺陷诊断方法先采集该工艺站点中各个生产机台生产的晶圆的缺陷信息，之后，获取该缺陷信息，并通过缺陷信息和各个机器手臂的特性信息，筛选出由机器手臂碰撞产生的碰撞缺陷；再之后，利用碰撞缺陷的缺陷信息和各个机器手臂的特性信息，对碰撞缺陷与各个机器手臂进行图像比对，确定造成该碰撞缺陷的机器手臂和生产机台，最后，通过发出检测提示，便可以通知工程师对相应生产机台进行检测，从而可以及时诊断出造成碰撞缺陷的生产机台，进而使得晶圆生产过程中的经济损失降低，并且也使得晶圆的良率提高。