基于金属纳米颗粒等离子激元增强单壁碳纳米管薄膜／硅异质结红外光电探测器的制备方法

摘要

本发明涉及红外光电探测器领域，具体为一种基于金属纳米颗粒等离子激元增强单壁碳纳米管薄膜/硅异质结红外光电探测器的制备方法。利用磁控溅射技术在预先开设活性窗口的硅基底表面沉积尺寸为几至几十纳米的金属颗粒；再将单壁碳纳米管薄膜裁剪成合适尺寸，压印在活性窗口上；利用纳米金属颗粒在光激发下产生的等离子激元共振大幅提高电子空穴对的产生效率，并在内建电场的作用下形成光电流。本发明增强型异质结红外光电探测器结构简单、制备过程便捷，所构建光电探测器的响应度相较于未增强器件提升～104倍，且100次循环测试性能无衰减。