一种基于交错结构的大通道波分复用器

摘要

本发明涉及一种基于交错结构的大通道波分复用器。本发明从下至上包括晶圆的衬底、晶圆的埋氧层、器件层和器件的SiO2上包层，所述器件层分别为微环谐振器、移相器、传输波导和阵列波导光栅，移相器加载在微环上，微环谐振器通过传输波导与上下两个阵列波导光栅相连。本发明通过微环谐振器级联两个输出通道波峰交错的波导阵列光栅，微环直通端的谐振波峰和下阵列波导光栅的各通道输出波峰对应重合，微环谐振器下载端的谐振波峰与上阵列波导光栅的各通道输出波峰对应重合，且上阵列波导光栅与下阵列波导光栅的输出波峰交错排列，从而形成交错信道的大通道波分复用器。本发明解决了常规波分复用器波长通道数较少的问题，并在低串扰方面表现良好。