高空间分辨率的X射线探测器单元、探测器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种高空间分辨率的X射线探测器单元，包括高阻外延衬底，所述高阻外延衬底包括背面、以及与背面相对的正面；所述正面设置有正面电极图，所述正面电极图包括最外环的第一隔离环、在所述第一隔离环内依次嵌套设置的至少两个正面电极环、以及设置在最内侧的正面电极环内的阳极电极；所述背面设置有第二隔离环、以及设置在所述第二隔离环内的背面电极。本发明中，通过采用高阻外延材料做衬底，可以减小衬底的厚度，进而在减小探测器单元的宽度尺寸的同时使探测器工作时耗尽层的深宽比≤1:1，可同时兼顾探测器的高探测效率、高空间分辨率和高MTF性能，保证探测和成像质量。