公开/公告号CN115233192A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-10-25
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司;
申请/专利号CN202211154530.2
申请日2022-09-22
分类号C23C16/46;C23C16/458;C23C16/50;
代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张洋
地址 226400 江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号
入库时间 2023-06-19 17:17:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-25
公开
发明专利申请公布
机译: 等离子体增强化学气相沉积装置和等离子体增强化学气相沉积方法
机译: 等离子体增强化学气相沉积装置,等离子体增强化学气相沉积室和气体分配喷头组件
机译: 等离子体增强化学气相沉积系统及等离子体增强化学气相沉积膜沉积方法