公开/公告号CN114613687A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-10
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州大和热磁电子有限公司;
申请/专利号CN202111455819.3
申请日2021-11-30
分类号H01L21/60;H01L21/48;
代理机构杭州杭诚专利事务所有限公司;
代理人郑汝珍
地址 310051 浙江省杭州市滨江区滨康路668号、777号
入库时间 2023-06-19 15:36:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-10
公开
发明专利申请公布