二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置

摘要

本发明提供了一种二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置，该二次谐波表征光学系统通过增加耦合联动机构，入射臂在圆弧导轨上滑动时，能够同步带动出射臂在圆弧导轨上耦合联动，使出射臂同步粗调到二次谐波信号的传输光路上，使至少部分的二次谐波信号入射到探测器内。通过增加的反馈调整模块，能够通过观察采样信号是否移动到目标点处，了解到出射光路系统中的探测器是否正好位于二次谐波信号的传输光路上，了解到二次谐波信号是否能全部入射到探测器的探测窗口内，便于后续微调出射臂，将探测器正好调节到二次谐波信号的传输光路上，使二次谐波信号尽量多的被探测器接收，从而提高二次谐波表征精度。