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公开/公告号CN114518592A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-20
原文格式PDF
申请/专利权人 石家庄铁道大学;
申请/专利号CN202210181104.1
发明设计人 张骞;许芳;杜立杰;杨延栋;卢高明;潘东江;张理蒙;徐飞;高阳;
申请日2022-02-25
分类号G01V1/00;G01V1/28;G01V1/30;G01V1/34;
代理机构河北国维致远知识产权代理有限公司;
代理人秦敏华
地址 050043 河北省石家庄市北二环东路17号
入库时间 2023-06-19 15:24:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-20
公开
发明专利申请公布
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置
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