水平度调整装置、抛光设备及水平度调整方法

摘要

本公开提供了一种水平度调整装置、抛光设备及水平度调整方法，该装置包括：用于检测抛光头水平偏移量的检测单元；在竖直方向上升降抛光头及驱动抛光头水平面内旋转的驱动单元，包括与抛光头相对且间隔设置的固定盘、及驱动固定盘升降及旋转的驱动组件；用于调节抛光头水平度的调节单元，包括设置于固定盘与抛光头之间的多个调节组件，多个调节组件的位置分布在抛光头不同区域，每个调节组件能够调节抛光头与固定盘之间在竖直方向上的相对距离；中央处理器，用于根据水平偏移量，确定各调节组件的调节补偿量，并控制各调节单元根据调节补偿量调节相对距离。本公开提供的水平度调整装置、抛光设备及水平度调整方法，可实现抛光头水平度自动调整。