公开/公告号CN114254010A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-29
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申请/专利权人 上海舜瞳科技有限公司;
申请/专利号CN202011023948.0
发明设计人 周大可;
申请日2020-09-25
分类号G06F16/2458(20190101);G06F21/62(20130101);G06F21/64(20130101);G01K13/00(20210101);
代理机构31316 上海汉盛律师事务所;
代理人郭海锋
地址 201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层
入库时间 2023-06-19 14:42:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-29
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法