基于双面相干光检测的陶瓷微小孔洞截面形状的检测方法

摘要

本发明公开一种基于双面相干光检测的陶瓷微小孔洞截面形状的检测方法，该方法在待检测陶瓷基板上方设置相干光光源，将待检测陶瓷基板上的微孔孔洞边沿对相干光进行反射形成光的干涉；使用相干光接收器接收反射光，来判断待检测陶瓷基板上正面微孔的截面形状；接着将待检测陶瓷基板翻转，进行上述相同步骤的操作，来判断待检测陶瓷基板上反面微孔的截面形状。本发明基于相干光反射能够实现对陶瓷基板微小孔洞截面形状的判断，有效地提高检测效率，能够及时做出反馈，对激光工艺参数做出相应调整，以提高打孔合格率。