公开/公告号CN114184212A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 北京计算机技术及应用研究所;
申请/专利号CN202111616322.5
申请日2021-12-27
分类号G01C25/00(20060101);G01C21/16(20060101);
代理机构11011 中国兵器工业集团公司专利中心;
代理人刘瑞东
地址 100854 北京市海淀区永定路51号
入库时间 2023-06-19 14:31:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-15
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法